Microbolometer : 마이크로볼로미터
마이크로볼로미터는 저항형 온도계를 이용해 복사를 측정하는 장치입니다. 복사가 흡수되면 가능한 한 검게 처리된 표면을 가열하게 되고, 이로 인해 재료의 저항이 변하여 측정할 수 있게 됩니다. 반도체(써미스터)가 온도 계수(temperature coefficient)가 높아 감도가 더 좋기 때문에 자주 사용됩니다. 알려진 온도의 히트싱크에 대해 정의된 열저항을 가진 열 브리지를 사용하면 연속적인 복사 측정이 가능합니다. 최근에는 전자기 스펙트럼의 넓은 범위에서 흡수 계수가 높은 매우 얇은 코팅을 제작할 수 있어 볼로미터 검출기는 넓은 스펙트럼 범위의 적외선 검출에 적합합니다. 다수의 볼로미터를 배열로 결합하면 적외선 카메라와 같은 적외선 검출용 영상 측정 장치를 만들 수 있습니다.
A microbolometer is a device that measures radiation using a resistance thermometer. When radiation is absorbed, it heats a surface that is blackened as much as possible. This causes a change in resistance in the material, which can be measured. Semiconductors (thermistors) are often used because they have a high-temperature coefficient, making the detector more sensitive. A thermal bridge with defined thermal resistance to a known temperature heat sink allows for continuous radiation measurement. Nowadays, very thin coatings with a high absorption coefficient for a wide range of the electromagnetic spectrum can be produced, making bolometer detectors suitable for detecting infrared radiation over a wide spectral range. When many bolometers are combined to form an array, an imaging measuring device for detecting infrared radiation, such as an infrared camera, can be built.