[질문]

스퍼터링 증착 과정에서 기판의 온도를 균일하게 유지해야 합니다. IR 원격 온도 측정이 가능할까요?

[답변]

적외선 카메라와 파이로미터 모두 사용할 수 있으며, 카메라는 수천 개의 픽셀로 전체 기판의 온도와 균일성을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 광학 렌즈를 최적화하면 특정 거리에서 기판의 온도 해상도를 높일 수 있습니다.

일부 사용자는 카메라와 함께 파이로미터를 배치하여 스퍼터링 타겟의 특정 점 온도를 모니터링하고, 이를 통해 기판 접착 상태를 최적화합니다.